茨城大学工学部附属塑性加工科学教育研究センター
UBMS装置を用いた
硬質皮膜処理による
部品の高機能化

• 本研究室はUBMS（Spattering）装置による硬質皮膜の創製とその評価を軸Unbalanced Magnetronに研究。
• 個々の部品が有する多様な機能を改善するために、色々な皮膜を様々な条件で検討することが出来、さらに、皮膜そのものの力学的特性評価（摩擦・摩耗、機械的特性、残留応力など）や、構造解析、皮膜を被覆した材料の信頼性評価試験を実施することが出来る。

• DLCは様々な工業的用途に応用されています。
• 当研究室では軽合金（特にアルミニウム）のDLC膜（硬質膜）による表面改質（摩擦・摩耗特性向上）について研究しています。

• 【主要研究機器】
• UBMS装置、マイクロX線残留応力測定装置、ボールオンディスク摩擦摩耗試験機、ダイナミック超微小硬度計、走査型電子顕微鏡(SEM)、走査型プローブ顕微鏡(SPM）、サーボ疲労試験機、回転曲げ疲労試験機、XPS、XRD、ラマン分光装置など、分析装置は揃っています。

• 自動車、航空機、金型、生体材料関連の事業者